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变压法真空干燥设备干燥工艺分为四个阶段：预热、变压脱水、终干及终点判断。
在预热阶段加热升温是主要的，利用气镇效应使干燥罐内处于低真空状态，同时充分利用罐内的空气及蒸发出来的水蒸气通过对流及传导将热量由加热器传至变压器器身，使绕组及铁心的温度能较快地升高。并通过预热过程中循环抽气充气过程，既可将已蒸发出来的水蒸气抽出，又可借助于充入空气的搅拌作用，使干燥罐内温度分布均匀。当罐内的空气温度，绕组温度及铁心温度到达设定值时，就可进入变压脱水阶段。
在变压脱水阶段，要充分利用绝缘材料中蒸发出来的水蒸气和对流传热，补充变压器因脱水汽化而损失的热量，同时及时地将脱出的水蒸气不断抽出。通过逐级抽真空，绝缘材料中残存的水分已很少，其所需的汽化热依靠辐射传热就能满足要求。当罐内压力、温度等参数到达设定值时便进入终干阶段。
在终干阶段，连续抽真空，便罐内压强不断降低，进一步加大绝缘材料内外水蒸气分压压强的差值，将绝缘层中的残余水分不断抽出，直到罐内达到终干压强。
干燥终点判断阶段，当干燥罐内真空度达到终干压强和各监控点温度、泄漏率均满足判断条件后，即可进行变压法真空干燥终点判断，确定变压器的干燥是否已符合要求。
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